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仪器介绍
XR160微焦点X射线检测系统用于电子行业的内部缺陷检测,适用于
l SMT产品检测,PoP BGA 检测
l 半导体检测,包括TSV、Flipchip 、Copper Pillar 检测
l 微小芯片及低密度材料检测
本系统由自屏蔽铅房、微焦点X射线系统、多自由度机械电气单元、软件、高性能计算机等组成
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